第277章 EUV光刻机与DUV光刻机！

当然，此时的绝大部分记者们并不知道如果想要生产90纳米和65纳米芯片。

其实不一定需要采用第5代浸没式光刻机技术，直接研发采用第四代的ArF干式光刻机技术也行。

因为第四代的ArF干式光刻...